微波反應(yīng)器可廣泛用于貴重材料包括GaN,SiC等的表面沉積。UHV結(jié)構(gòu),易于安裝到現(xiàn)有的MBE系統(tǒng)上。穩(wěn)定可靠的真空腔。低氣壓、高密度及低能量的離子源。
1.微波功率隨溫度自動反饋控制,非脈沖微波連續(xù)加熱. 自動調(diào)整和控制反應(yīng)過程,達到準(zhǔn)確的溫度和反應(yīng)過程控制效果,確保合成反應(yīng)的均勻性和一致性。比傳統(tǒng)脈沖式加熱,微波作用時間更長,產(chǎn)率更高。
2.高頻率和高精度的紅外溫度傳感器,監(jiān)測反應(yīng)容器內(nèi)反應(yīng)物質(zhì)發(fā)熱產(chǎn)生的紅外光線來測量和控制反應(yīng)容器內(nèi)的溫度變化過程,隨時檢測到反應(yīng)容器內(nèi)的溫度數(shù)值,溫度控制范圍:0-250℃(根據(jù)反應(yīng)要求可選裝室溫~500℃或室溫~900℃),精度±1℃,無滯后和延遲效應(yīng)。比鉑電阻測溫更安全,更靈敏,更準(zhǔn)確,操作更簡便。
3.同時配備電磁和機械攪拌裝置,用戶可根據(jù)反應(yīng)物質(zhì)情況自行選擇攪拌方式,攪拌速度連續(xù)可調(diào)并實時顯示。適用于各種粘稠度的液體和固體反應(yīng)物。
4.內(nèi)置10套反應(yīng)方案,任意調(diào)用。用戶可自行編輯、存儲、修改和刪除各套反應(yīng)方案及各項反應(yīng)控制參數(shù)(包括工步,溫度,時間和攪拌速度等)
5.配備爐腔內(nèi)攝像裝置,并通過爐腔外的TFT彩色液晶(或CRT)顯示器,隨時觀察或錄像爐腔內(nèi)反應(yīng)過程,掌握實時的反應(yīng)情況。
6.微波爐腔上的任何開口都對人體安全,整機安全性能通過國家質(zhì)檢部門安全認證。
7.高強度的防腐涂層確保爐腔持久抵御各種有機溶劑和酸霧蒸汽的侵蝕,并配備大容量排風(fēng)裝置。